Депозит
Получете аналитична информация и ускорете процеса на разработка.
Advanced Energy предлага решения за захранване и управление за критични приложения за отлагане на тънки филми и геометрии на устройства. За да се справят с предизвикателствата при обработката на пластини, нашите решения за прецизно преобразуване на енергия ви позволяват да оптимизирате точността на захранването, прецизността, скоростта и повторяемостта на процеса.
Предлагаме широка гама от радиочестоти, DC захранващи системи, персонализирани нива на изходна мощност, технологии за съгласуване и решения за наблюдение на температурата с оптични влакна, които наистина ви позволяват да контролирате по-добре плазмения процес. Също така интегрираме Fast DAQ™ и нашия пакет за събиране и достъпност на данни, за да осигурим по-задълбочен поглед върху процеса и да ускорим процеса на разработка.
Научете повече за нашите процеси за производство на полупроводници, за да намерите решението, което отговаря на вашите нужди.
Вашето предизвикателство
От филми, използвани за моделиране на размери на интегрални схеми, до проводими и изолационни филми (електрически структури) и метални филми (взаимосвързване), вашите процеси на отлагане изискват контрол на атомно ниво – не само за всяка характеристика, но и за цялата пластина.
Освен самата структура, вашите отложени филми трябва да бъдат с високо качество. Те трябва да притежават желаната зърнеста структура, еднородност и конформна дебелина, както и да не съдържат кухини – в допълнение към осигуряването на необходимите механични напрежения (натиск и опън) и електрически свойства.
Сложността само продължава да се увеличава. За да се справят с ограниченията на литографията (възли под 1X nm), техниките за самоподравняване на двойно и четворно моделиране изискват вашият процес на отлагане да създаде и възпроизведе модела върху всяка пластина.
Нашето решение
Когато внедрявате най-важните приложения за отлагане и геометрии на устройства, ви е необходим надежден лидер на пазара.
Технологията за подаване на радиочестотна мощност и високоскоростно съгласуване на Advanced Energy ви позволява да персонализирате и оптимизирате точността на мощността, прецизността, скоростта и повторяемостта на процеса, необходими за всички усъвършенствани PECVD и PEALD процеси на отлагане.
Използвайте нашата технология за DC генератор, за да настроите фино конфигурируемата реакция на дъгата, точността на мощността, скоростта и повторяемостта на процеса, необходими за PVD (разпрашване) и ECD процеси на отлагане.
Предимства
● Подобрената плазмена стабилност и повторяемост на процеса увеличават добива
● Прецизното подаване на радиочестотни и постоянни честоти с пълен цифров контрол спомага за оптимизиране на ефективността на процеса
● Бърза реакция на промени в плазмата и управление на дъгата
● Многостепенното импулсиране с адаптивна честотна настройка подобрява селективността на скоростта на ецване
● Глобална поддръжка, осигуряваща максимална работоспособност и производителност на продукта