Микровълнова мощност
-
Микровълново захранване
Микровълново импулсно захранване е нов тип микровълново захранване, базирано на IGBT високочестотна инверторна технология. Той интегрира анодно захранване с високо напрежение, захранване с нажежаема жичка и захранване с магнитно поле (с изключение на 3kW микровълново захранване). Вълновият магнетрон осигурява условия за работа. Този продукт се използва в MPCVD, микровълново плазмено ецване, микровълново плазмено дегумиране и други области.