Микровълнова мощност
-
Микровълнова мощност
Микровълново импулсно захранване е нов тип микровълново захранване, базирано на IGBT високочестотна инверторна технология.Той интегрира анодно захранване с високо напрежение, захранване с нажежаема жичка и захранване с магнитно поле (с изключение на 3kW микровълново захранване).Вълновият магнетрон осигурява условия за работа.Този продукт се използва в MPCVD, микровълново плазмено ецване, микровълново плазмено дегумиране и други области.