Захранване със средночестотно разпръскване от серия MSB

Серията RHH RF захранване разчита на зряла технология за генериране на RF, за да предостави на клиентите RF захранване с по-голяма мощност, по-висока прецизност и бърза реакция.С възможност за настройка на фазата, контрол на импулса, цифрова настройка и други функции.Приложими области: фотоволтаична индустрия, индустрия за плоски дисплеи, полупроводникова индустрия, химическа индустрия, лаборатория, научни изследвания, производство и др.

Приложими процеси: плазмено усилено химическо отлагане на пари (PECVD), плазмено ецване, плазмено почистване, радиочестотен източник на йони, плазмена дифузия, плазмено полимеризиращо разпрашване, реактивно разпрашване и др.