RF захранване
-
Серия RLS RF захранване
Серията RLS RF захранване използва настоящия стабилен и надежден усилвател на мощност и основната система за управление на DC на компанията, така че продуктът да има много стабилна производителност и висока надеждност на продукта.Приемете китайски и английски интерфейс на дисплея, лесен за работа.Използва се главно във фотоволтаичната промишленост, промишлеността на плоски дисплеи, полупроводниковата промишленост, химическата промишленост, лабораторията, научните изследвания, производството и др.
-
Съвпадения от серия RMA
Може да се адаптира към радиочестотно захранване от серия RLS и се използва широко в плазмено ецване, покритие, плазмено почистване, плазмено дегумиране и други процеси.Когато се използва самостоятелно, може да се използва заедно с RF захранвания на други производители.
-
Серия RHH RF захранване
Серията RHH RF захранване разчита на зряла технология за генериране на RF, за да предостави на клиентите RF захранване с по-голяма мощност, по-висока прецизност и бърза реакция.С възможност за настройка на фазата, контрол на импулса, цифрова настройка и други функции.Приложими области: фотоволтаична индустрия, индустрия за плоски дисплеи, полупроводникова индустрия, химическа индустрия, лаборатория, научни изследвания, производство и др.
Приложими процеси: плазмено усилено химическо отлагане на пари (PECVD), плазмено ецване, плазмено почистване, радиочестотен източник на йони, плазмена дифузия, плазмено полимеризиращо разпрашване, реактивно разпрашване и др.