Серия RHH RF захранване

Кратко описание:

Серията RHH RF захранване разчита на зряла технология за генериране на RF, за да предостави на клиентите RF захранване с по-голяма мощност, по-висока прецизност и бърза реакция.С възможност за настройка на фазата, контрол на импулса, цифрова настройка и други функции.Приложими области: фотоволтаична индустрия, индустрия за плоски дисплеи, полупроводникова индустрия, химическа индустрия, лаборатория, научни изследвания, производство и др.
Приложими процеси: плазмено усилено химическо отлагане на пари (PECVD), плазмено ецване, плазмено почистване, радиочестотен източник на йони, плазмена дифузия, плазмено полимеризиращо разпрашване, реактивно разпрашване и др.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Изпратете имейл до нас

Характеристика

● Стилове за монтаж на половин тухла и стелаж
● Приемете пълно цифрово управление с удобно и богато меню за работа
● Функции за настройка на честотата, импулс и импулсна синхронизация
● С CEX функция за фазова синхронизация
● Перфектна защитна функция

Подробности за продукта

Вход Входно напрежение: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (специалните спецификации могат да бъдат персонализирани)
Входяща честота: 47~63Hz
Изход Изходна честота: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
Диапазон на настройка: ±5%
Изходна мощност: 1.5~5kW
Диапазон на регулиране на изходната мощност: 1~100%
Изходен импеданс: 50Ω+j0
Изходен интерфейс: тип N
Режим на изход: непрекъснат, импулсен
Честота на импулса: 100Hz~100kHz
Работен цикъл: 5~95%
Индекс на ефективност Фактор на мощността: 0.98
Точност на стабилност на честотата: ±0.005%
Ефективност: 75% (при номинална мощност)
Хармонични: <-45dBc
Страйт: <-50dBc
Външен контролен интерфейс: аналогово количество, комуникация и синхронизация
Режим на комуникация: Стандартен комуникационен интерфейс RS485;Допълнителен Ether CAT, индустриален Ethernet и др.
Забележка: продуктът продължава да се обновява и производителността продължава да се подобрява.Това описание на параметъра е само за справка.


  • Напишете вашето съобщение тук и ни го изпратете

    Оставете вашето съобщение